MASSEMETROLOGIE PRODUKTE

BIETEN PRÄZISE MESSUNGEN FÜR VERSTÄNDIS IN DIE VERFAHREN

METRYX® PRODUKTFAMILIE

Technologie: Massemetrologie
Lösungen: Transistoren, Leiterbahnen, Strukturierung, hochentwickelte SpeicherPackaging

In-Line-Prozessüberwachung wird eingesetzt, um Trends und Abweichungen in der Waferproduktion bei ihrem Auftreten identifizieren zu können und so zügig in der Lage zu sein, Korrekturmaßnahmen durchzuführen, um weitere Ertragsausfälle zu verhindern. Für die Schritte der Abscheidung, Ätzung und Reinigung ist die Messung der Masse eines Wafers vor und nach des Vorgangs eine einfache und direkte Art, Prozessergebnisse überwachen und steuern zu können, speziell bei ultradünnen Schichten, ultradicken Schichten sowie komplexen 3D-Geometrien neuerer Chipausführungen, bei denen traditionelle optische Messtechniken ineffektiv sind.

Die Metryx-Massemetrologiesysteme von Lam sind sowohl als plattformintegrierte Module als auch als unabhängige Systeme verfügbar und bieten Messmöglichkeiten im Sub-Milligrammbereich für fortschrittliche Prozessüberwachung und Steuerung von dreidimensionalen Gerätestrukturen.

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